深圳市普拉斯玛自动化设备有限公司
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地址：深圳市宝安区松岗街道沙浦社区洋涌工业区八路2号碧桂园厂房6栋305
主要规格
1）整机外形尺寸1133W*1024D*1919H(MM)
2）反应仓腔体尺寸450W*450D*450H(MM)
3）电源：380V（10%正负误差）工频三相五线
4）射频电源频率：低频LF,40-120K变频配合匹配器
功率：1000W（MAX)
(5)真空泵：鲍斯真空泵+罗茨泵
(6)配置气体：氢气（H2)5%，氩气(AR)95%混合，工业气体由使用厂家自行外购，在购置瓶装气体的时候，请气体供应商为钢瓶配置减压阀。
(7)整机功率<5KW
(8)PLC（SIMENZI)程序控制，触控式显示面板控制，操作方式分自动和手动可选，同时可储存50种配方清洗模式，任意调用。自动模式用于设备正常工作，手动模式用于设备调试及维护。
(9)单次清洗时间<300S（一般射频工作时间180S)
